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FS LINE采用大型掃描儀和大型水槽
可應(yīng)對FineSAT系列裝置不能應(yīng)對的大型對象物（如FPD、面向太陽能電池的濺鍍靶材、陶瓷零部件等不斷大型
化的材料、零部件）的檢查。
除了單焦點(diǎn)探頭用的FS LINE以外，還準(zhǔn)備了同時(shí)使用單探頭和陣列探頭，可以縮短大型對象物的檢查時(shí)間的FS LINE Hybrid。
同時(shí)，作為選購件，還準(zhǔn)備了用于檢查筒狀/圓柱狀對象物的表面的旋轉(zhuǎn)臺(tái)。關(guān)于水槽和掃描儀尺寸，也請隨時(shí)咨詢。
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FS LINE
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FS LINE Hybrid
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探頭方式
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單探頭的機(jī)械掃描方式
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支持機(jī)械掃描或相控陣探頭電子掃描兩種方式
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接合部分的檢查時(shí)間事例(*)
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約10分鐘
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1分30秒
（通過相控陣探頭的電子掃描進(jìn)行測定）
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*(測定范圍2,500×300mm、2mm間距掃描時(shí))
特點(diǎn)、規(guī)格:
FS LINE能進(jìn)行高精度的測定，還擁有基于FineSAT的使用方便性，並重視**性。
FS LINE Hybrid在低頻范圍的陣列探頭上實(shí)現(xiàn)了高阻尼化。 這樣，可同時(shí)進(jìn)行靶材和背板的接合檢查和靶材內(nèi)部的孔隙檢查。
而且，單焦點(diǎn)探頭難以檢查的邊緣斜面用斜角電子掃描也可進(jìn)行檢查。
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型號(hào)
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新型裝置
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同時(shí)發(fā)送接收數(shù)量
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*多32個(gè)振子
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支持振子數(shù)
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*多128個(gè)振子
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陣列方向電子聚焦
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可編程
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接收范圍
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5, 10, 15MHｚ
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FS LINE Hybrid規(guī)格(陣列相關(guān))
斜角電子掃描聲束控制示意圖
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掃描儀有效掃描范圍:
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有效掃描范圍
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750×800
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1,550×2,000
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4,000×2,000
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（単位：mm）
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有效掃描范圍4,000×2,000的事例
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